TMAH相关论文
建立了基于ICP-MS(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry,ICP-MS)测定乳制品中碘的方法.用5％TMAH做提取剂,在85℃水浴震荡......
窄线宽半导体激光器相比于传统激光器,具有光谱线宽窄以及相干性好的优势,是半导体激光器新兴应用,包括原子钟、医学传感、激光制......
采用含异丙醇(IPA)的TMAH溶液腐蚀经Si_3N_4掩膜形成10μm×10μm窗口的单晶硅片。在硅片表面得到了内壁光滑的倒金字塔V型口阵列.......
TMAH即四甲基氢氧化铵,作为湿电子化学品中的显影液,广泛应用于半导体及半导体显示领域,用于微细图形的加工.随着半导体及半导体显......
通过各向异性腐蚀硅微结构工艺，研究了四甲基氢氧化铵（TMAH）腐蚀液的特性，包括硅（100）晶面腐蚀速率与TAMH溶液浓度、温度、pH值以及过硫......
研究了TMAH溶液中（110）硅片在不同几何形状掩膜窗口下的各向异性湿法腐蚀行为,探讨了（110）硅在TMAH与不同添加剂（过硫酸铵、异丙醇等）构......
TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于<100>、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向......
研究了浓度为10%的四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液,在不同量的Si粉掺杂下,对铝膜及硅衬底的腐蚀及其pH值的变化.测试了在满足铝膜极低的......
发展了一种与CMOS工艺完全兼容并可在商业化的1．2μm标准CMOS生产流水线上进行流片的硅基热电堆真空传感器的制造技术与流程。传感......
IMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.文章通过大量对比实验,对该腐蚀液用于＜100＞、＜111＞单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品......
为了高效经济地实现单晶硅喷口阵列的批量加工,通过大量实验,研究了TMAH溶液在不同浓度、温度、刻蚀时间以及添加剂过硫酸铵的添加......
MEMS器件的性能与尺寸密切相关。介绍了一种精确控制器件尺寸的各向异性腐蚀方法——基于改进TMAH溶液的PN结自停止腐蚀。这种方法......
研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿.通过研究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不......
TMAH是一种具有优良的腐蚀性能的各向异性腐蚀剂,选择性好,无毒且不污染环境,最重要的是TMAH与CMOS工艺相兼容,符合SOC的发展趋势.......
从针叶木硫酸盐原浆、氧漂浆以及氧漂后的废液中分离出残余木素,在四甲基氢氧化铵（TMAH）存在下,采用裂解气相色谱-质谱联用（Py-GC-MS）......
聚丙烯酸（PAA）和羧甲基纤维素钠（CMC）共混后以3价铬离子改性，制备了mPAA／CMC阳离子交换膜；以戊二醛和正二丁基二氯化锡改性壳聚糖（CS），制备了......
采用RF溅射制备出Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜，剥离法制备出UFPA器件单元所需的图形化金属电极，TMAH溶液进行体硅腐蚀，并且使用保护胶和独特......
采用四甲基氢氧化铵（TMAH）作为分散剂,利用沉降法、ξ电位、粒度分析、TEM等研究了TiN纳米粉体在水介质中的分散稳定机制,探讨了pH值......
通过对流量传感器制造工艺中微薄膜结构的研究,分别介绍了采用氢氧化钾和四甲基氢氧化铵（TMAH）交替腐蚀实现感应薄膜释放的基本原理......
本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文......
四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种澄清、水溶性好、碱性强的有机溶剂，作为显影液广泛使用在半导体及液晶显示器（LCD）产业的光刻制程中。由于T......
随着以煤炭、石油、天然气为代表的传统不可再生能源的日益枯竭,太阳能作为一种绿色、清洁、取之不尽用之不竭的新型能源越来越受......
采用固相球磨工艺,研究四甲基氢氧化铵(TMAH)添加量及球磨过程对TMAH在SiC粉体表面吸附效果及浆料流变性的影响。TMAH在SiC粉体表......
研究了TMAH(四甲基氢氧化铵)和NaOH腐蚀液在制作单晶硅片小绒面中的应用,制作出平均尺寸小于2μm的金字塔绒面;比较了不同硅片预处......
TMAH具有刻硅速率高、晶向选择性好、低毒性和对CMOS工艺的兼容性好等优点,而成为MEMS工艺中常用的刻蚀剂。但TMAH在刻蚀过程中会......
银杏叶提取物因含有黄酮醇苷和萜内酯等活性成分而成为治疗心血管疾病的有效植物药。但是银杏叶中的烷基酚因其致过敏作用,已成为......
本文研制出了压力满量程为0～1MPa、工作温度范围在0～220℃的SOI高温压力传感器。 分析了SOI材料的结构、制备方法及SOI材料的特性......
通过各向异性腐蚀硅杯实验,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系,不同腐蚀条件......
水溶液体系中有机酸、醇和酚类等极性物质的分析中，一般需要衍生化、萃取、浓缩等复杂繁琐的前处理，然后采用气相色谱法分析。而采用......
CMOS-MEMS工艺制造的微型传感器能够利用标准CMOS工艺实现传感器的低成本、批量生产,这也是MEMS传感器相对于传统传感器的优势之一......
伴随着CMOS技术集成度的日益增大以及关键尺寸的日渐缩小,传统CMOS工艺中采用的应力拉升方式已经无法满足器件对于PMOS驱动电流的......
硅的各向异性湿法腐蚀是硅片微机械加工的重要技术之一,它被广泛地应用于在硅衬底上加工各种各样的微结构,如膜结构、凹槽结构、悬......
本文介绍了在具有N-网格结构的单晶硅上通过电化学腐蚀的方法,将硅片部分区域转化成多孔硅,通过常规单晶硅外延工艺,使多孔硅所在......
本论文进行的工作是在硅微通道结构释放技术方面,以不同质量分数的TMAH溶液对硅背部进行腐蚀,从实验结果中分析了不同质量分数的TM......
本论文工作开展了纳米梁制备加工、测试和应用研究。纳米梁是纳机电系统(NEMS)基本组成结构。纳米梁加工工艺研究、纳米梁力学电学......
随着光纤通信网络的快速发展，对光无源器件包括光开关的需求越来越大，光开关是用来重新配置光网络或增加其可靠性的。对于局域网来说......
以四甲基氢氧化铵（TMAH）为分散剂,纳米TiN、亚微米SiC粉体为原料,分别制备单组分水基料浆及复合料浆,分析了SiC/纳米TiN复合料浆的分......
